FT160 to wysoce precyzyjny spektrometr ED-XRF dedykowany do pomiaru grubości powłok metalicznych, zwłaszcza w przemyśle elektronicznym.
Hitachi High-Tech Science Corporation jest znanym i cenionym producentem spektrometrów fluorescencji rentgenowskiej. Urządzenia są wykorzystywane w wielu gałęziach nauki oraz przemysłu (w tym przez wszystkich wiodących japońskich oraz koreańskich producentów sprzętu elektronicznego oraz samochodów). FT160 jest nowoczesnym, wydajnym i zaawansowanym spektrometrem fluorescencji rentgenowskiej z rozproszeniem energii (ED-XRF), stworzonym z myślą głównie o pomiarach grubości powłok metalicznych z wysoką precyzją i dla małych obiektów. Pomiary grubości można wykonywać z wykorzystaniem parametrów fundamentalnych (FP), na podstawie krzywej kalibracyjnej (CAL) lub metody mieszanej (FP + CAL). Nie ma jednak przeszkód by urządzenie stosować też do pomiarów stężenia metali w cieczach czy analizy jakościowej. Wyposażony w polikapilarną optykę ogniskowania rentgenowskiego i półprzewodnikowy detektor, FT160 umożliwia osiągnięcie bardzo wysokiej dokładności i przepustowości w pomiarach grubości warstwy na poziomie ultra -mikroskopowym. Dzięki bardzo dokładnemu ogniskowaniu urządzenie umożliwia dokonanie pomiaru z obszaru o średnicy zaledwie 30 µm.
W standardowej konfiguracji, że urządzenie wyposażone zostało w dużą komorę pomiarową dogodną do analizy dużych płaskich elementów, takich jak np. płyty elektroniczne. W zależności od potrzeb możliwe jest doposażenie w komory węższe i wyższe. W celu ułatwienia procedury pomiarowej w urządzenie wbudowana została kamera CCD umożliwiająca podgląd analizowanego obiektu, a system automatycznie przełącza filtry i kolimatory zgodnie z ustandaryzowanym protokołem pomiarowym. W najczęściej wybieranej konfiguracji urządzenie wyposażone jest w sterowany joystickiem ruchomy stolik pomiarowy, co pozwala na szybkie i precyzyjne ustawienie próbki we wiązce pomiarowej. Spektrometr może być wyposażony w aż 5 filtrów w celu dobrania najlepszych parametrów pomiarowych. Urządzenie jest w stanie mierzyć do 5 powłok metalicznych na jednej próbce. Mierzone warstwy mogą składać się z nawet z 10 różnych pierwiastków. Warto zaznaczyć, że urządzenia serii FT produkowane są od 1978 roku.
Zakres analityczny | Al – U |
Lampa RTG | 45 kV (opcjonalna lampa wysokoenergetyczna) |
Detektor | półprzewodnikowy (SDD), chłodzony elektronicznie |
Podgląd próbki | kolorowa kamera CCD |
Komora pomiarowa | 600 mm x 600 mm x 200 mm (model FT160L) |
Kolimatory | układ światłowodowy o średnicy wiązki 30 µm |
Oprogramowanie | pomiar grubości powłok, pomiar ilościowy i jakościowy |